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科学技术论文
SPC在半导体功率器件生产的应用
时间:2021-11-09 点击次数:569
摘要:统计过程控制(SPC)是应用数理统计分析来监控生产过程,提升过程能力的工具,主要强调过程的预防,适用于各行业的质量控制过程。本文简述SPC在VDMOS功率器件制造过程中的应用,以对生产过程中发现的问题提出预警,及时解决,恢复过程稳定,从而提高和控制产品质量。
关键词:SPC;过程控制;功率器件
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